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堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

后曝光氮氣烘箱，PEB無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導體，集成電路。

智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀，全程檢測氧含量值，并記錄。

三箱式百級無塵烤箱，電子百級潔凈烘箱耐高溫超潔凈H.E.P.A，(特殊風道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100

高溫百級無氧烘箱，500度厭氧潔凈烤箱用于PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求。

不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱應(yīng)用于目前關(guān)鍵的半導體電子行業(yè)（如硅片干燥，堅膜烘烤，裝片機后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業(yè)中用于材料高精度工序。

百級無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。